特許
J-GLOBAL ID:200903032525350295

四重極型質量分析計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 田宮 寛祉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-216866
公開番号(公開出願番号):特開2003-031178
出願日: 2001年07月17日
公開日(公表日): 2003年01月31日
要約:
【要約】【課題】 測定すべき領域やイオン源などで発生した光によるノイズを抑えると共に、感度損失が少ない四重極型質量分析計を提供する。【解決手段】 平行に配置された4本の棒状電極により成る四重極電極10に高周波電圧を印加させ、イオン化部でイオン化された特定質量のイオンのみを四重極電極10の出口部から射出させ、出口部の後側に位置したイオン検出器11によって射出されたイオンを電流として検出する四重極型質量分析計において、イオン検出器11は、その受光面16が環状となる形態を有し、かつ受光面16の中心軸と四重極電極10の軸が一致するように配置され、四重極電極10の出口部とイオン検出器11の受光面16の間にイオンを受光面16に導く電界が形成される。
請求項(抜粋):
平行に配置された4本の棒状電極により成る四重極電極に高周波電圧を印加させ、イオン化部でイオン化された特定質量のイオンのみを前記四重極電極の出口部から射出させ、前記出口部の後側に位置したイオン検出器によって射出された前記イオンを電流として検出する四重極型質量分析計において、前記イオン検出器は、その受光面が環状となる形態を有し、かつ前記受光面の中心軸と前記四重極電極の軸が一致するように配置され、前記四重極電極の出口部と前記イオン検出器の前記受光面の間に前記イオンを前記受光面に導く電界が形成される、ことを特徴とする四重極型質量分析計。
IPC (3件):
H01J 49/42 ,  G01N 27/62 ,  H01J 49/06
FI (3件):
H01J 49/42 ,  G01N 27/62 L ,  H01J 49/06
Fターム (2件):
5C038FF04 ,  5C038JJ09

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