振動変換器およびこの振動変換器を備えた加速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：有我軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-259755
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083005
出願日： 1999年09月14日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】比較的構造が簡単であり、低価格で、高い性能を有する優れた加速度センサを提供することを目的とする。【解決手段】電極面25aを有する固定電極25と、電極面25aと所定の間隔で平行に離隔して対向する平面27aを有する金属振動体27と、電極25の電極面25a上に形成されたエレクトレット膜23と、を含むコンデンサと、下端外周部につば状の取付部21bを有し、コンデンサを収容する筒状のケース21と、所定の導電路が設けられた平面を有する回路基板35と、基板35上に載置され、振動体27と電気的に接続されたFET33と、振動板27をケース21と絶縁する絶縁体31と、ケース21の取付部21bとスポット溶接などによりその端部で固定され、FET33をケース21内に収容するように基板35を押さえる金属平板37と、を含む振動変換器20を備える。

請求項（抜粋）：

振動を電気信号に変換する振動変換器であって、電極面を有する第1の電極と、この第1の電極の電極面と所定の間隔で実質的に平行に離隔して対向する平面を有し、この平面と実質的に垂直な方向に振動可能な振動体と、この振動体の前記平面上に形成された第2の電極と、前記第1および第2の電極の間に介在するエレクトレット膜と、を含むコンデンサと、天面と、下端外周部につば状の取付部と、導電性の内部表面と、を有する筒状のケースと、所定の導電路が設けられた平面を有する回路基板と、この回路基板の平面上に載置され、前記第1および第2の電極のうちの一方の電極と前記導電路を介して電気的に接続された電気インピーダンス変換器と、前記一方の電極を前記ケースの前記内部表面と絶縁するとともに、他方の電極を前記ケースの前記内部表面と電気的に接続するように、前記コンデンサを前記ケース内に保持する絶縁体と、前記ケースの取付部と機械的に固定されるとともに電気的に接続され、前記電気インピーダンス変換器を前記ケース内に収容するように前記回路基板を前記ケース内に保持する導電性の平板と、前記電気インピーダンス変換器と電気的に接続され、前記平板を介して外部と電気信号を入出力する端子ピンと、この端子ピンを前記平板と絶縁する絶縁体と、を備えたことを特徴とする振動変換器。

IPC (3件)：

G01H 11/06 , G01P 15/125 , H04R 19/01

FI (3件)：

G01H 11/06 , G01P 15/125 , H04R 19/01

Fターム (14件)：

2G064AB08 , 2G064AB16 , 2G064BA02 , 2G064BA21 , 2G064BD05 , 2G064BD25 , 2G064BD47 , 2G064BD60 , 2G064DD32 , 5D021CC08 , 5D021CC11 , 5D021CC16 , 5D021CC18 , 5D021CC19

引用特許：

出願人引用 (18件)

特開昭58-061128
特開昭59-079700
特開昭63-012927

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