特許

J-GLOBAL ID：200903032533910968

静電チャック

発明者： 後藤 覚
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-064122
公開番号（公開出願番号）：特開平5-267436
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】【目的】 本発明は,半導体基板を吸着する静電チャックの構造に関し,ゴミ等の異物による吸着不良を解消することを目的とする。【構成】 半導体基板1を静電力により吸着する静電チャック2の表面が突起面3により構成されているように,また,前記静電チャック2表面の前記突起面3が複数の錐状または柱状突起であるように,さらに,前記静電チャック2表面の突起面3凹部に不活性ガスを流す配管を有するように構成する。

請求項（抜粋）：

半導体基板(1) を静電力により吸着する静電チャック(2) の表面が突起面(3) により構成されていることを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302