特許
J-GLOBAL ID：200903032548469532
クランプ機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-121284
公開番号（公開出願番号）：特開平5-290788
出願日： 1992年04月14日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 イオン注入装置において基板を鉛直方向にしてイオンを照射するとごみなどが基板に付着せず望ましい。基板の搬送は水平方向になされるから、基板を台の上に戴置した後、基板を台に固定して台を90度回転しなければならない。この際に基板を台に固定したり離脱したりできる機構を提供する。【構成】 下台5と上台6よりなる支持台を90度回転可能な回転ブロック2の上に設置する。押え板8を上台6の上に設け、押え板8の下面に引下げ棒9を固着しこれを下台5と上台6の穴に通してバネ10により引き下げる。引下げ棒と一体に副棒11を設けこれが基板7を押し上げるようにする。押え板8の両側に揺動棒18とロ-ラ17を設け外部の駆動機構により揺動棒18を回転させる。揺動棒18は3点で停止できる。揺動棒18の位置により、押え板8が持ち上げられたり、基板7が持ち上げられたりする。
請求項（抜粋）：
真空チャンバの内部において基板を搬送機構によって搬送し、内部の台に基板を支持し台を回転して基板を横向きにし、基板に対して処理を行う装置の、基板の台に対するクランプ機構であって、真空チャンバの外部から操作できる回転棒3と、回転棒3の先端に固着された回転ブロック2と、回転ブロック2の上に設けられる下台5と、この上に設けられ基板を戴置すべき上台6と、基板を押さえるために上台6の上に設けられる押え板8と、押え板8の下面に固着され上台6と下台5の穴に挿通された複数の引下げ棒9と、引下げ棒9と一体に結合され上台6の穴から上へ突出して基板を持ち上げることができる副棒11と、引下げ棒9を押し下げるバネ10と、押え板8の左右側方に設けられる揺動棒18と、揺動棒18の先端に取り付けられ押え板8を下から持ち上げるべきロ-ラ17と、真空チャンバの外部に設けられ3つの停止点を有する駆動装置と、駆動装置の動力を前記の揺動棒18にまで伝達する動力伝達機構を有し、揺動棒18が最下位置にあるときは、押え板8によって基板7が上台6に対して押し付けられ、揺動棒18が中間位置にあるときは、押え板8がロ-ラ17によって持ち上げられ、揺動棒18が最上位置にあるときは、ロ-ラ17によって押え板8がさらに持ち上げられ副棒11によって基板7が持ち上げられるようにしたことを特徴とするクランプ機構。
IPC (3件)：
H01J 37/317
, C23C 14/50
, H01L 21/265
