特許

J-GLOBAL ID：200903032550073506

微細形状測定プローブの破損防止機構およびその制御方法

発明者： 山本 正樹
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-327990
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141442
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 微細触針を用いた微細形状測定装置において、微細触針を破損から守ることを目的とする。【解決手段】 微細で高アスペクト比を持つ梁構造からなる微細触針1と微細構造を有する測定対象6を相対運動させながら微細形状測定をおこなう微細形状測定装置において、触針ホルダ2内に上下方向に伸縮するアクチュエータを内蔵し、微細触針1が測定対象6との接触を検知すると同時に微細触針1を上方に引き上げることにより、Zステージ3が停止命令を受けたのち自らの慣性によりのオーバートラベルしてしまう現象に対し、微細触針1が測定対象6に押し込まれて座屈破損することを防止することで、安定した接触検出を可能とする効果がえられる。

請求項（抜粋）：

片持ち梁構造からなる微細触針と微細形状をもった測定対象を相対運動させ、両者の接触を検出することにより微細形状を測定する微細形状測定装置において、微細触針の軸方向に変位が可能なアクチュエータを微細触針のホルダ内に有することにより、微細触針が接触時に破損することを防止することを特徴とする破損防止機構。

IPC (2件)：

G01B 21/20 ,  G01B 7/28

FI (4件)：

G01B 21/20 P ,  G01B 21/20 A ,  G01B 7/28 E ,  G01B 7/28 C

Fターム (20件)：

2F063AA04 ,  2F063AA41 ,  2F063BB02 ,  2F063CA28 ,  2F063DA02 ,  2F063EB02 ,  2F063FA08 ,  2F069AA04 ,  2F069AA66 ,  2F069BB40 ,  2F069DD01 ,  2F069GG01 ,  2F069GG62 ,  2F069HH01 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ08 ,  2F069LL02 ,  2F069MM32 ,  2F069MM38 ,  2F069MM40