特許

J-GLOBAL ID：200903032562618192

振動除去装置

発明者： 井上 光二
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 武石 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-261926
公開番号（公開出願番号）：特開平6-117480
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、制御対象のシステム定数の同定を近似的ではあるが正確かつ迅速にリアルタイムで行い、そのシステム定数によって決定された制御定数で振動除去制御を行うことにより、簡単な構成で安定性がよく高速応答が可能でありかつ正確な振動除去をなしうる振動除去装置を提供する。【構成】 定盤1の高さを一定高さに保持するよう空気圧位置制御部2の位置制御アンプ22は位置センサ21の出力と定盤1の目標高さを比較して空気圧シリンダドライバ23、空気圧シリンダ部24を介して定盤1を一定高さに保持する。この状態で荷重検出手段3は空気圧シリンダ部24の空気圧から荷重を算出し、振動除去部4の振動制御アンプ42に出力する。振動制御アンプ42は荷重検出手段3によって入力された荷重の信号から振動制御のための最適なパラメータを算出し、そのパラメータによって振動センサ41の信号を入力してコイルドライバ43、コイルアクチュエータ44を介して定盤1の振動を除去する。

請求項（抜粋）：

物体を載置する定盤と、前記定盤と床面との距離を空気圧によって一定に保つ空気圧位置制御部と、前記空気圧位置制御部の空気圧により定盤を含めた定盤上の荷重を検出する荷重検出手段と、前記荷重検出手段によって検出された荷重に対応する制御定数を算出し、その制御定数を用いて前記定盤の振動を除去する振動除去部とを備えたことを特徴とする振動除去装置。

IPC (6件)：

F16F 15/02 ,  F16F 9/04 ,  F16F 9/50 ,  G05D 19/02 ,  G12B 9/08 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-244628
  
• 特開昭63-092851
  
• 特開昭60-244623