特許
J-GLOBAL ID：200903032565854725
プローブ先端部の改質方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
明田 莞
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-198331
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038039
出願日： 1997年07月24日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】 耐摩耗性、導電性、耐酸化性に優れたタングステンプローブを提供する。【解決手段】 メタライズ法によりタングステンプローブの表面に非酸化性金属の被膜11を形成し、その後、非酸化性の雰囲気あるいは真空中で加熱して、前記非酸化性金属の被膜11をタングステン部10に拡散させる。
請求項（抜粋）：
メタライズ法によりタングステンプローブの表面に非酸化性金属の被膜を形成し、その後、非酸化性の雰囲気あるいは真空中で加熱して、前記非酸化性金属の被膜をタングステン中に拡散させることを特徴とするプローブ先端部の改質方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/067 A
, H01L 21/66 B
