特許
J-GLOBAL ID：200903032580273178
基板の位置決め装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-105297
公開番号（公開出願番号）：特開平5-182891
出願日： 1985年04月02日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】 サイズの異なる相似形の基板のプリアライメントを確実に、かつ安定に行なうことができる位置決め装置を提供する。【構成】 基板をプリアライメントするときの押圧部材を回動方式にし、基板の端面に当接する当接子と、回動軸との配置関係を適当に定めることで、基板のサイズに応じて変化する押圧力を発生させる。
請求項（抜粋）：
外形形状が相似で互いにサイズの異なる少なくとも2枚の基板の夫々の中心をほぼ同一位置にプリアライメントするために、前記サイズの異なる基板のうち任意の1枚の基板の端面と対向配置される位置決め部材と、前記任意の一枚の基板の端面を前記位置決め部材へ当接させるように該基板を押圧する押圧部材とを備えた基板の位置決め装置において、前記押圧部材が、前記サイズの異なる基板の夫々の端面と当接可能な当接子、この当接子を前記基板の面と平行な面内で所定の軸を中心として回転させる移動体、および前記当接子を前記基板の端面方向へ押圧するための付勢力を前記移動体に与える付勢部材を有し、前記当接子が前記基板を押圧して前記位置決め部材へ当接させたときに基板のサイズが大きくなるに従って前記当接子の押圧力が大きくなるように前記移動体の回転中心と前記当接子との各配置を設定したことを特徴とする基板の位置決め装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G05D 3/12
, G05D 15/00
, H01L 21/68
