特許

J-GLOBAL ID：200903032587535720

周波数分解センサ

発明者： 山下 幸一 ,  年吉 洋 ,  藤田 博之 ,  飯塚 哲彦
出願人/特許権者： 東芝テック株式会社 ,  年吉 洋 ,  藤田 博之 ,  飯塚 哲彦
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-315815
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133322
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】振動を振動子に効率よく伝搬し、振動を容易にかつ精度よく電気信号に変換して取出すことにより周波数分解精度の向上を図る。【解決手段】音波や機械的振動を受けて振動を発生するダイヤフラム11と、このダイヤフラムからの振動を一方向に伝播する振動伝搬部12と、この振動伝搬部の一方の側から延出してその端部を自由端とし、かつこの振動伝搬部の振動伝搬方向に複数配設し、それぞれ異なる固有共振周波数を有する複数の振動子13と、振動伝搬部の各振動子に対応した他方の側から延出してその端部を基板15に固定し、かつこの振動伝搬部の振動伝搬方向に複数配設した複数の延出部14と、各振動子、振動伝搬部、各延出部及び基板に跨がって配置したピエゾ抵抗素子16とで周波数分解センサを構成し、振動子の振動に伴うピエゾ抵抗素子の抵抗変化を振動し個々に取出す。

請求項（抜粋）：

音波や機械的振動を受けて振動を発生する受波部と、この受波部からの振動を一方向に伝搬する振動伝搬部と、この振動伝搬部の一方の側から延出してその端部を自由端とし、かつこの振動伝搬部の振動伝搬方向に複数配設した、それぞれ異なる固有共振周波数を有する複数の振動子と、前記振動伝搬部の前記各振動子に対応した他方の側から延出してその端部を固定端とし、かつこの振動伝搬部の振動伝搬方向に複数配設した複数の延出部と、前記各振動子及びこの各振動子と対応した延出部の一方又は両方にそれぞれ配置し対応する振動子の振動を検出する複数の抵抗素子とを備えたことを特徴とする周波数分解センサ。

IPC (2件)：

G01H 11/08 ,  G01H 3/06

FI (2件)：

G01H 11/08 Z ,  G01H 3/06

Fターム (11件)：

2G064AB07 ,  2G064AB08 ,  2G064AB13 ,  2G064BA02 ,  2G064BD04 ,  2G064BD24 ,  2G064BD43 ,  2G064BD44 ,  2G064CC13 ,  2G064CC41 ,  2G064DD32