特許

J-GLOBAL ID：200903032589103747

マイクロアクチュエータ及びその製造方法並びにインクジェットヘッド及びその製造方法

発明者： 太田 英一
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-063649
公開番号（公開出願番号）：特開2002-264089
出願日： 2001年03月07日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 振動板の厚さのバラツキの低減と低コスト化、ならびに信頼性の向上を図る。【解決手段】 振動板を可動部分とするマイクロアクチュエータの製造方法であって、振動板はシリコン基板に予め軽元素を打ち込んだ層を形状して、このシリコン基板の軽元素を打ち込んだ層をベース基板に接合した後、熱処理を加えて、前記軽元素を打ち込んだ層を前記ベース基板に剥離転写することによって、振動板厚のバラツキの少ないマイクロアクチュエータをを提供する。

請求項（抜粋）：

振動板を可動部分とするマイクロアクチュエータにおいて、前記振動板はシリコン基板に軽元素を打ち込んだ層で形成されていることを特徴とするマイクロアクチュエータ。

IPC (4件)：

B81B 3/00 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (3件)：

B81B 3/00 ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (19件)：

2C057AF37 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG54 ,  2C057AG55 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP25 ,  2C057AP26 ,  2C057AP28 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP56 ,  2C057AQ01 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA15