特許
J-GLOBAL ID：200903032589576904
グロー放電発光分光分析における多層膜自動判定による定量分析方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-238351
公開番号（公開出願番号）：特開2001-059818
出願日： 1999年08月25日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：
【要約】【課題】 グロー放電発光分光分析における定量分析方法において、多層膜の各層の境界位置、及び濃度計算を行う領域をデータ処理によって自動判定し、個人差によらない定量分析を行う。【解決手段】 グロー放電によって試料表面をスパッタリングしながら原子発光を分光検出し、元素分析を行うグロー放電発光分光分析において、測定プロファイルから各元素の発光線強度の変化を求め(ステップS2)、強度変化から各元素の遷移領域(ステップS3)及び境界位置(ステップS4)を求め、各元素の遷移領域で重複するものをグループ化して膜中の層の境界領域とし(ステップS5)、該層の境界領域中において各元素の境界位置を用いて膜中の層の境界位置を判定し(ステップS6)、境界領域間の発光線強度から各層の濃度を算出する(ステップS7)ことによって、多層膜の各層を自動判定し、各層の元素濃度を定量分析する。
請求項（抜粋）：
グロー放電によって試料表面をスパッタリングしながら原子発光を分光検出し、元素分析を行うグロー放電発光分光分析において、測定プロファイルから各元素の発光線強度の変化を求め、前記発光線強度変化から各元素の遷移領域及び境界位置を求め、各元素の遷移領域で重複するものをグループ化して膜中の層の境界領域とし、該層の境界領域中において各元素の境界位置を用いて膜中の層の境界位置を判定し、前記境界領域間の発光線強度から各層の濃度を算出する、グロー放電発光分光分析における多層膜自動判定による定量分析方法。
Fターム (4件)：
2G043AA01
, 2G043EA09
, 2G043GB21
, 2G043NA01
