特許
J-GLOBAL ID：200903032599708620
レーザ発光装置の位置調整方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大山 浩明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-276729
公開番号（公開出願番号）：特開2008-093682
出願日： 2006年10月10日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：
【課題】レーザ光の位置合わせを簡単にし,レーザ光の焦点等をより高い精度でかつ短時間で調整可能とする。【解決手段】周縁部から中心に向けて所定幅のスリット500が形成された調整用基板Wadjを,レーザ発光装置100からのレーザ光がスリットを通るように載置台上にセットする工程と,調整用基板の裏面側からスリットを通して調整用基板の表面側に配置した光エネルギー測定装置300の受光面に向けてレーザ光を照射する工程と,レーザ発光装置を光軸方向に移動させながら,光エネルギー測定装置によってその受光面に照射されるレーザ光のエネルギー量の変化を測定し,その受光面エネルギー量の変化に基づいてレーザ発光装置の光軸方向の位置を所望の位置に調整する工程を実行する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
載置台に載置された被処理基板の裏面にレーザ光を照射するレーザ発光装置の位置を調整する方法であって,
前記レーザ発光装置は,出射されるレーザ光の光軸方向に移動自在に構成され,
周縁部から中心に向けて所定幅のスリットが形成された調整用基板を,前記レーザ発光装置からのレーザ光が前記スリットを通るように前記載置台上にセットする工程と,
前記調整用基板の裏面側から前記スリットを通して前記調整用基板の表面側に配置した光エネルギー測定装置の受光面に向けて前記レーザ光を照射する工程と,
前記レーザ発光装置を前記光軸方向に移動させながら,前記光エネルギー測定装置によってその受光面に照射される前記レーザ光のエネルギー量の変化を測定し,その受光面エネルギー量の変化に基づいて前記レーザ発光装置の前記光軸方向の位置を所望の位置に調整する工程と,
を有することを特徴とするレーザ発光装置の位置調整方法。
IPC (5件)：
B23K 26/00
, H01S 3/00
, B23K 26/073
, B23K 26/04
, H01L 21/027
B23K26/00 M
, H01S3/00 A
, H01S3/00 B
, B23K26/073
, B23K26/04 C
, H01L21/30 577
4E068CA02
, 4E068CA07
, 4E068CA11
, 4E068CC01
, 4E068CD08
, 4E068DA10
, 4E068DB13
, 5F046AA28
, 5F046JA27
, 5F172ZZ01
, 5F172ZZ02
