特許
J-GLOBAL ID：200903032601616259
ビアを開けるスループットを増加させる方法、および、レーザシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 興作 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-621110
公開番号（公開出願番号）：特表2003-500220
出願日： 2000年05月26日
公開日（公表日）： 2003年01月07日
要約：
【要約】レーザシステム(50)のダイオードポンプ固体レーザ(52)は、回折光学素子(90)により均一な放射束密度を持つ整形出力(94)に変換することによって、紫外線ガウス出力(54)を供給する。整形出力(94)のほとんどは、マスク(98)の開口部を通って焦点を結び、結像させかつ整形させた出力(118)を与える。レーザシステム(50)は、相似のクリップドガウスレーザシステムで利用可能なビアを開けるプロセスのスループットを増加させる方法を容易にさせる。この方法は、特に、クリップドガウスレーザシステムによって生成されたものよりも優位なエッジ、底面、および、テーパの品質を持つブラインドビア(20b)を開けるときに有利となる。その他のレーザシステム(150)は、回折光学素子(90)およびマスク(98)を含む整形結像システム(70)の付近でガウス出力を方向付ける、一対のビーム転換ガルバノメータミラー(152,154)を使用する。レーザシステム(150)は、ガウス出力か、結像させた整形出力(118)かのどちらかを使用するオプションをユーザに与える。
請求項（抜粋）：
少なくとも、第1の除去流束量閾値を持つ物質から成る第1の層、および、第2の除去流束量閾値を持つ材料から成る第2の層を含む積層加工物にビアを開けるスループットを増加させる方法であって、 実質的に400nmよりも短い波長のガウス放射束密度プロフィールと、第1のガウスエネルギーと、を有する第1のガウスレーザ出力を生成するステップと、 回折光学素子を通る光路に沿って前記第1のガウスレーザ出力を伝搬し、前記第1のガウスレーザ出力を第1のより均一な整形出力へ変換するステップと、 前記第1の均一な整形出力の大部分を開口部を通って伝搬させ、 前記第1のガウスレーザ出力の前記第1のガウスエネルギーの50%よりも高い第1のアパーチャード整形エネルギーを有する第1のアパーチャード整形出力に変換するステップ、 前記第1のアパーチャード整形出力を1つまたは複数の結像レンズコンポーネントを通って伝搬させ、第1の結像した整形出力を供給するステップと、 前記第1の結像した整形出力を前記積層加工物上の目標位置に照射し、この目標位置内の第1の層の物質を除去するステップとを含み、 前記第1の結像した整形出力は、第1のスポットエリア上で第1のエネルギー密度を有し、前記第1のエネルギー密度は、ビアを形成するための前記第1の除去流束量閾値よりも高く、前記第2の除去流束量閾値未満である方法。
IPC (8件)：
B23K 26/00 330
, B23K 26/00
, B23K 26/06
, G02B 27/09
, H01S 3/00
, H05K 3/00
, H05K 3/46
, B23K101:42
B23K 26/00 330
, B23K 26/00 N
, B23K 26/06 E
, H01S 3/00 B
, H05K 3/00 N
, H05K 3/46 X
, H05K 3/46 Y
, B23K101:42
, G02B 27/00 E
4E068AF01
, 4E068CA02
, 4E068CA04
, 4E068CD05
, 5E346AA43
, 5E346BB01
, 5E346CC02
, 5E346CC09
, 5E346CC32
, 5E346FF01
, 5E346GG15
, 5E346HH33
, 5F072AB02
, 5F072AB20
, 5F072KK09
, 5F072KK12
, 5F072MM08
, 5F072MM09
, 5F072PP07
, 5F072QQ02
, 5F072RR05
, 5F072SS01
, 5F072YY06
