特許
J-GLOBAL ID：200903032607116509
平面度の測定法並びにその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
樋口 盛之助
, 小泉 良邦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-206657
公開番号（公開出願番号）：特開2004-053255
出願日： 2002年07月16日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：
【課 題】平面度測定の現状での問題点を解消することできる平面度の測定方法とこの方法を用いた測定装置を提供すること。【解決手段】対象面Oj上の複数の点に対して基準点からチャートパターン像2を出射して前記対象面に設定した複数の測定点において結像させると共に、各点からの反射像をそれぞれ前記基準点の共役点において個々に光-電気的に検出し、その検出値に基づいて前記対象面Ojの平面度を測定すること。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
対象面上の複数の点に対して基準点からチャートパターン像を出射して前記対象面に設定した複数の測定点において結像させると共に、各点からの反射像をそれぞれ前記基準点の共役点において個々に光-電気的に検出し、その検出値に基づいて前記対象面の平面度を測定することを特徴とする平面度の測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (17件)：
2F065AA47
, 2F065CC21
, 2F065CC25
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065FF49
, 2F065GG06
, 2F065HH03
, 2F065HH07
, 2F065JJ26
, 2F065LL46
, 2F065MM03
, 2F065QQ03
, 2F065QQ24
, 2F065QQ29
, 2F065QQ31
, 2F065RR06
