特許

J-GLOBAL ID：200903032610443464

成膜装置

発明者： 橋本 一
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 藤田 龍太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-227561
公開番号（公開出願番号）：特開平9-049079
出願日： 1995年08月10日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【課題】 構成が複雑であり、生産性を向上できない。【解決手段】 回動軸4の端部に設けられた2本のアーム5と、この両アーム5の先端部に軸受33を介して回転自在に設けられた筒形受台34と、この両受台34に載置される基板8のトレイ7と、アーム5に設けられ,受台34を回転するモータ37とを備え、回動軸4の回動により両受台34を基板交換位置9と成膜位置24とに交互に移行するようにする。

請求項（抜粋）：

回動軸の端部に設けられた2本のアームと、この両アームの先端部に軸受を介して回転自在に設けられた筒形受台と、この両受台に載置される基板のトレイと、前記アームに設けられ,前記受台を回転するモータとを備え、前記回動軸の回動により前記両受台を基板交換位置と成膜位置とに交互に移行するようにした成膜装置。

IPC (4件)：

C23C 14/50 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/68 ,  C23C 14/46

FI (5件)：

C23C 14/50 K ,  C23C 14/50 H ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/68 K ,  C23C 14/46 Z