特許
J-GLOBAL ID：200903032612498843
ガス検知素子及びガス測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-267036
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096699
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】 湿度の影響を受けにくく、湿度補正の機構が不要となり簡便にアンモニアを測定できるアンモニアの検知素子及びアンモニアの測定装置を提供する。【解決手段】 pH指示薬を含有する薄膜と該薄膜1を装荷するための基体2とから構成され、雰囲気のアンモニアガス濃度に感応して該薄膜の光の透過率または反射率が変化することを利用してアンモニアガスの存在を検知するアンモニアガスの検知素子であって、上記薄膜1がシリコン系酸化物からなる。
請求項（抜粋）：
pH指示薬を含有する薄膜と該薄膜を装荷するための基体とから構成され、雰囲気のガス濃度に感応して該薄膜の光の透過率または反射率が変化することを利用してガスの存在を検知するガス検知素子であって、上記薄膜がシリコン系酸化物からなることを特徴とするガス検知素子。
IPC (3件)：
G01N 21/78
, G01N 31/22 121
, G01N 31/22 123
G01N 21/78 Z
, G01N 31/22 121 A
, G01N 31/22 123
