特許
J-GLOBAL ID：200903032613815788
フィルムの連続剥離装置および連続剥離方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-347506
公開番号（公開出願番号）：特開2002-154742
出願日： 2000年11月15日
公開日（公表日）： 2002年05月28日
要約：
【要約】【課題】剥離したベースフィルムの回収に手間を要しないベースフィルムの剥離装置および剥離方法を提供する。【解決手段】ベースフィルムとレジスト付フィルムおよびカバーフィルムの三層構造をもつ連続した一体化フィルムからカバーフィルムを剥離したレジスト付フィルムに、ラミロールにより一定間隔をもって基板を貼り付けたものから、前記ベースフィルムを剥離するフィルム剥離装置において、前記基板を上面から吸着しながら、前記ラミロール工程の搬送速度と同じ速度で搬送しつつ、前記基板の下面と前記ベースフィルムの間に設置された剥離軸により、前記ベースフィルムを下側に連続剥離する。
請求項（抜粋）：
ベースフィルムとレジスト付フィルムおよびカバーフィルムの三層構造をもつ連続した一体化フィルムからカバーフィルムを剥離したレジスト付フィルムに、ラミロールにより一定間隔をもって基板を貼り付けたものから、前記ベースフィルムを剥離するフィルム剥離装置において、前記基板を上面から吸着しながら、前記ラミロール工程の搬送速度と同じ速度で搬送しつつ、前記基板の下面と前記ベースフィルムの間に設置された剥離軸により、前記ベースフィルムを下側に連続剥離することを特徴とするフィルム連続剥離装置。
Fターム (1件)：
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