特許
J-GLOBAL ID：200903032629882680
ウエハキャリアの移載装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-297921
公開番号（公開出願番号）：特開平6-124994
出願日： 1992年10月09日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】【目的】 建物の経時的な寸法変化に伴う移載精度の低下を解消したウエハキャリアの移載装置を提供する。【構成】 搬送車4と移載機6との離間距離を検出する第1のセンサ手段9,10を設けて、この第1のセンサ手段9,10からの検出結果を基に移載機6に対する載置アーム5の進退位置を制御可能とした。さらに、搬送車6の走行位置を検出する第2のセンサ手段11、12を設けて、この第2のセンサ手段11、12からの検出結果を基に搬送路R上における搬送車4の停止位置を制御可能とした。
請求項（抜粋）：
建物の天井部分に連結して設けられた搬送路と、この搬送路上を走行する搬送車と、この搬送車に取り付けられた載置アームと、前記建物の床部分に設置された移載機と、この移載機に取り付けられた移載アームとを備え、前記搬送車の載置アームと前記移載機の移載アームとの間でウエハキャリアの受け渡しが行われるウエハキャリアの移載装置において、前記搬送車と前記移載機との離間距離を検出する第1のセンサ手段を設けて、この第1のセンサ手段からの検出結果を基に前記移載機に対する前記載置アームの進退位置を制御可能とするとともに、前記搬送車の走行位置を検出する第2のセンサ手段を設けて、この第2のセンサ手段からの検出結果を基に前記搬送路上における前記搬送車の停止位置を制御可能としたことを特徴とするウエハキャリアの移載装置。
IPC (2件)：
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