特許

J-GLOBAL ID：200903032633193724

光重合可能な乾燥フィルム組成物

発明者： リチャード・トーマス・メイズ
出願人/特許権者： ハーキュリーズ・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-294576
公開番号（公開出願番号）：特開平6-087939
出願日： 1992年11月02日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】【構成】水性現像可能で光重合可能な乾燥フィルム組成物であって、該光重合可能な組成物がさらに、少なくとも一つのエチレン性不飽和末端基を有するカルボキシル基含有ポリウレタンを光重合可能な乾燥フィルム組成物の重量の0.5ー30%含む組成物。【効果】フォトレジストとして有用な水性現象可能な乾燥フィルム光重合性組成物である。

請求項（抜粋）：

水性現像可能で光重合可能な乾燥フィルム組成物であって、該光重合可能な組成物がさらに、少なくとも一つのエチレン性不飽和末端基を有するカルボキシル基含有ポリウレタンを光重合可能な乾燥フィルム組成物の重量の0.5ー30%含む組成物。

IPC (5件)：

C08F299/06 MRX ,  C08F 2/44 MCS ,  G03F 7/027 513 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027