特許
J-GLOBAL ID：200903032641300092
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-281334
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134132
出願日： 1993年11月10日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】小型かつ安価で組立工数も少ない走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】フレーム14の上部に固定された圧電体スキャナー16の下端にセンサーユニット20が取り付けられている。センサーケース22の内部には、レーザー光源30、コリメートレンズ32、光軸に対して45度の角度で配置されたハーフミラー34、その透過光をカンチレバー26に集光するための集光レンズ36とミラー38が設けられている。センサーケース22にはハーフミラー34の上方に開口24が形成されている。その上方に反射ミラー44が、その反射方向に集光レンズ46とポジションディテクター48が配置されている。ポジションディテクター48には受光面上のビームの位置を求めるプリアンプ50が接続されており、これには圧電体スキャナーの非直線性を補正するようにスキャナードライバー18を制御するための演算回路52が接続されている。
請求項（抜粋）：
カンチレバーに支持された探針、この探針の変位を検出する探針変位検出光学系を含むセンサーユニットと、センサーユニットを試料の観察表面に対して走査する圧電体スキャナーと、探針変位検出光学系の光源が射出するビームの一部を分離して参照ビームとしてセンサーユニットの外部に射出させる手段と、参照ビームの位置変化を検出する参照ビーム位置変化検出手段と、参照ビーム位置変化検出手段で検出した参照ビームの位置変化に基づいて圧電体スキャナーの走査変位を求める演算手段とを備えている走査型プローブ顕微鏡。
IPC (5件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 11/30 102
, G01B 21/30
, H01J 37/28
