特許

J-GLOBAL ID：200903032642612098

試料ホルダ及び荷電粒子線装置

発明者： 河西 亨
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 田中 隆秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-414894
公開番号（公開出願番号）：特開2005-174808
出願日： 2003年12月12日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：

【要 約】【課 題】 試料片の取り扱いや保管を容易にし、使い勝手を向上させること。【解決手段】 内筒貫通孔を有する外筒(H1)と、前記外筒(H1)の内筒貫通孔内部に支持され且つ、前記外筒(H1)の軸方向に沿って進退移動可能に支持された内筒(H3)と、前記内筒(H3)を前記外筒(H1)に対して進退移動させる内筒進退制御部材と、前記内筒(H3)の内端部に設けられたホルダベース(HB)と、前記ホルダベース(HB)に支持された回転支持部材(93,97,98)であって、荷電粒子ビームが照射される試料片(W)を保持する試料保持部材(T)を回転可能且つ着脱可能に支持する前記回転支持部材(93,97,98)と、前記回転支持部材(93,97,98)の回転を制御する回転制御部材(Y,M,96)とを備えた試料ホルダ。【選択図】 図13

請求項（抜粋）：

下記の構成要件(A01)〜(A06)を備えたことを特徴とする試料ホルダ、 (A01)内筒貫通孔を有する外筒、 (A02)前記外筒の内筒貫通孔内部に支持され且つ、前記外筒の軸方向に沿って進退移動可能に支持された内筒、 (A03)前記内筒を前記外筒に対して進退移動させる内筒進退制御部材、 (A04)前記内筒の内端部に配置されたホルダベース、 (A05)前記ホルダベースに支持された回転支持部材であって、荷電粒子ビームが照射される試料片を保持する試料保持部材を回転可能且つ着脱可能に支持する前記回転支持部材、 (A06)前記回転支持部材の回転を制御する回転制御部材。

IPC (3件)：

H01J37/20 ,  G21K5/00 ,  G21K5/04

FI (3件)：

H01J37/20 A ,  G21K5/00 A ,  G21K5/04 M

Fターム (3件)：

5C001AA03 ,  5C001AA06 ,  5C001CC03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 試料作製装置および試料作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-333681   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭52-67253号公報(第3頁右下欄第8行〜第4頁左上欄第9行、第2図)