特許
J-GLOBAL ID：200903032646796614
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-201096
公開番号（公開出願番号）：特開平7-037945
出願日： 1993年07月20日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 外部の電気ノイズの影響を避けることができ、更にはまた周囲の温度に左右されず安定した電気的測定を行うことができるプローブ装置を提供すること。【構成】 プローブカード40が一体的に固定されたカバー部21とウエハ載置台3が固定されたベース部とに分割可能に構成された例えば接地されたアルミニウム製の容器2を用い、この容器2内にウエハWとフレキシブルなプローブカード40とを対向した状態で密閉する。プローブカード40の上側空間はダンパ室になっており、ここに流体を注入してその圧力によりプローブカード40の例えば一括コンタクトタイプのバンプ41をウエハW側に押圧する。プローブカード40の周縁部のバンプ42と容器2の周縁部の電極5を接続し、テストヘッド側への接続を図る。
請求項（抜粋）：
被検査体載置台上に載置された被検査体の電極パッドにプローブカードの接触子を接触させ、この接触子を介してテスタにより被検査体の電気的測定を行うプローブ装置において、前記被検査体載置台及びプローブカードを、電磁遮蔽機能を備えた容器内に密封すると共に、この容器の外部と被検査体載置台との間で被検査体を搬送するように当該容器に開閉自在な搬送口を形成したことを特徴とするプローブ装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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