特許
J-GLOBAL ID：200903032648759759
表面検査方法及び検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-045712
公開番号（公開出願番号）：特開平7-253401
出願日： 1994年03月16日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：
【要約】【目的】SN比高く表面の検査測定を行う測定方法及び装置を得る。【構成】シ-ト状物からなる被検査物表面を照明する光源と、被検査物からの反射光を受光するCCDカメラとを用い、照射光と反射光に基づく前記カメラの出力信号とから被検査物表面の欠陥を検査するシ-ト状物の表面検査方法において、被検査物の幅よりも大きい照明幅を有する光源を使用することを特徴とするシ-ト状物の表面検査方法、及びシ-ト状物からなる被検査物を搬送する搬送機構と、被検査物表面を照明する光源と、被検査物からの反射光を受光するCCDカメラとを有し、照射光と反射光に基づく前記カメラの出力信号とから被検査物表面の欠陥を検査するシ-ト状物の表面検査装置において、被検査物の幅よりも大きい照明幅を有する光源を使用することを特徴とするシ-ト状物の表面検査装置。【効果】SN比高く表面の検査測定を行う測定方法及び装置を得られた。
請求項（抜粋）：
シ-ト状物からなる被検査物表面を照明する光源と、被検査物からの反射光を受光するCCDカメラとを用い、照射光と反射光に基づく前記カメラの出力信号とから被検査物表面の欠陥を検査するシ-ト状物の表面検査方法において、被検査物の幅よりも大きい照明幅を有する光源を使用することを特徴とするシ-ト状物の表面検査方法。
IPC (2件)：
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