特許

J-GLOBAL ID：200903032650289549

表示装置用アレイ基板及びその製造方法

発明者： 久 保 明
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-253284
公開番号（公開出願番号）：特開平11-095248
出願日： 1997年09月18日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】 画素電極パターニング時のエッチングの際に、信号線にダメージを与えることないアレイ基板の製造方法を提供する。【解決手段】 ガラス基板上101にモリブデンからなる信号線110を形成する。この信号線110はTFT112のドレイン電極Dに接続する。その後、TFT112のソース電極Sに接続する画素電極131を形成する際には、ITO膜からなる画素電極用被膜を塩酸を用いて所定パターンにエッチングすることにより形成する。このように画素電極用被膜を塩酸でエッチングするので、このエッチングの際に、モリブデンからなる信号線110を腐食させることがなくなる。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された走査線と、この走査線と交差する方向に沿って、且つ、絶縁膜を介して形成された、信号線と、これら走査線と信号線との交点部分に設けられたトランジスタと、を備え、前記トランジスタの入力端子には前記信号線が接続され、前記トランジスタの出力端子には画素電極が接続され、前記トランジスタの制御端子には前記走査線が接続されるとともに、前記信号線をモリブデン又はモリブデンを主体とした金属で構成し、前記画素電極のパターニングの際には塩酸を用いてエッチングした、ことを特徴とする表示装置用アレイ基板。

IPC (2件)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 29/786

FI (2件)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 612 C