特許

J-GLOBAL ID：200903032651010297

走査干渉電子顕微鏡

発明者： 市川 昌和
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-209139
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047337
出願日： 1991年08月21日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】一次電子線の偏向によって干渉縞の位置ずれが発生した場合でも、試料との相互作用による電子線の位相変化のみを高精度に検出することを可能とする走査干渉電子顕微鏡を提供することにある。【構成】電子源1と収束レンズ5の間に二つ以上のバイプリズムを設け、一次電子線2を四つ以上に分割する構成によって達成される。【効果】一次電子線の偏向によって干渉縞がずれた場合でも、試料との相互作用による電子線の位相変化を高精度で検出できるため、試料中のミクロ磁性等に関する正確な情報を得ることができる。

請求項（抜粋）：

真空中で電子源から取り出した一次電子線を収束レンズ及び偏向系により試料上で収束・走査し、試料からの反射電子,二次電子、あるいは試料を透過した電子線を検出し、該検出信号を用いて試料の顕微像を表示させるようにした走査電子顕微鏡において、上記電子源と上記偏向系との間に一次電子線を分割する二つ以上のバイプリズムを設け、かつ上記偏向系と試料の間に上記収束レンズを設けることにより、上記バイプリズムにより分割された該一次電子線のうちの少なくとも一つ以上の電子線を試料上に収束照射し、試料と相互作用した後に再び上記分割された一次電子線を干渉させて該干渉強度の変化を検出することを特徴とする走査干渉電子顕微鏡。