特許
J-GLOBAL ID：200903032654442260
ロータリジョイント
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉本 丈夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-092100
公開番号（公開出願番号）：特開平11-287372
出願日： 1998年04月03日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：
【要約】【課題】 金属成分との接触を回避する必要のある半導体ウエハ等の処理に使用される液体を相対回転部材間で良好に流動させうるロータリジョイントを提供する。【解決手段】 第1ジョイント構成部材1にベアリング13を介して第2ジョイント構成部材2を回転自在に連結し、第2ジョイント構成部材2に、その回転軸線と同心状をなして第1密封環30を固定し、第1ジョイント構成部材1に、第2密封環31を第1密封環30と同心対向状をなして軸線方向に移動可能に且つ第1密封環30へと押圧附勢させた状態に保持し、各ジョイント構成部材1,2に、両密封環30,31の内周側領域3bに開口する流体通路部分60,61を形成して、当該内周側領域3b及びこれを介して連通する両流体通路部分60,61をもって、液体102を流動させ得る一連の流体通路6となし、この流体通路6の接液部を、液体102との接触により金属成分を発生することのないPEEK等で構成してある。
請求項（抜粋）：
第1ジョイント構成部材に第2ジョイント構成部材を回転自在に連結し、一方のジョイント構成部材に、第2ジョイント構成部材の回転軸線と同心状をなして第1密封環を固定し、他方のジョイント構成部材に、第2密封環を第1密封環と同心対向状をなして軸線方向に移動可能に且つ第1密封環へと押圧附勢させた状態に保持し、各ジョイント構成部材に、両密封環の内周側領域に開口する流体通路部分を形成して、当該内周側領域及びこれを介して連通する両流体通路部分をもって、液体を流動させ得る一連の流体通路となし、この流体通路の接液部を、液体との接触により金属成分を発生することのない材料で構成してあることを特徴とするロータリジョイント。
引用特許：
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