特許
J-GLOBAL ID：200903032654548387
モデル作成装置およびモデル作成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-069229
公開番号（公開出願番号）：特開2007-250647
出願日： 2006年03月14日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：
【課題】 複数の解析手法を組み合わせて解析処理をするに際し、適切な組み合わせで実行して対象品の異常を分析するモデルを作成できるモデル作成装置を提供すること【解決手段】 プロセス特徴量および検査結果を解析する複数種類の解析処理の実行順序を記憶する解析手順データ記憶部33と、取得したプロセス特徴量および検査結果に対し、解析手順記憶部に記憶された実行順序に従って異なる解析処理を順次実行し、プロセス特徴量と検査結果との間の相関関係を示すモデルを生成する解析部32とを備えて構成した。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
製造プロセス実行中に得られるプロセスデータから算出されるプロセス特徴量と、その製造プロセスで生産された製品の検査結果との相関関係を示すモデルを作成するモデル作成装置であって、
プロセス特徴量および検査結果を解析する複数種類の解析処理の実行順序を記憶する解析手順記憶部と、
取得したプロセス特徴量および検査結果に対し、前記解析手順記憶部に記憶された実行順序に従って異なる解析処理を順次実行し、前記プロセス特徴量と検査結果との間の相関関係を示すモデルを生成する解析部と、
を備えたことを特徴とするモデル作成装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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