特許
J-GLOBAL ID:200903032655185130

鏡面材料並びに透過材料の検査用光源装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松浦 憲三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-268871
公開番号(公開出願番号):特開平11-108844
出願日: 1997年10月01日
公開日(公表日): 1999年04月23日
要約:
【要約】【課題】最適な検査画像を得るように、検査用光源の点灯位置を任意に制御可能にし、最適な点灯パターンを自動的に決定する。【解決手段】光源に点灯パターンを任意に制御できるLEDアレイ光源14を用いる。1つの検査領域に対してLEDを1列毎に順次点灯させて、最適な点灯列範囲を求め点灯位置の最適化を自動で行う。
請求項(抜粋):
鏡面材料及び透過材料に照明光を照射し、前記鏡面材料及び透過材料上に形成された検出対象の像を撮像手段を介して観察する検査用光学系に用いられる鏡面材料並びに透過材料の検査用光源装置において、独立して点灯/消灯可能な複数の発光源が平面的に配列されて成る発光部と、前記各発光源の点灯/消灯を制御し、前記発光部の点灯位置を変更させる制御手段と、を備えたことを特徴とする鏡面材料並びに透過材料の検査用光源装置。
IPC (2件):
G01N 21/84 ,  G06T 1/00
FI (2件):
G01N 21/84 E ,  G06F 15/64 320 F

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