高分解能電子エネルギ損失分光測定装置及びその調整方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-019640
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206353
出願日： 1997年01月20日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】試料が反射する電子線は強度が弱いため、電子線を検出できるように試料保持部を調整するのに非常に多くの時間を費やした。そこで、試料保持部の調整の際に試料が反射する電子線の強度を高める。【解決手段】スイッチ部4は試料を保持する試料保持部3とアースを接続したり、切り離したりする。試料保持部3をアースから切り離した状態で試料10に電子を照射することにより、試料を帯電し、帯電した試料表面の電気的な反発により照射した電子を反射し、試料からの電子線の強度を高める。スイッチ部4は電子線を検出した後に帯電した試料保持部3をアースに接続することにより、試料の帯電を取り除く。

請求項（抜粋）：

高分解能電子エネルギ損失分光を測定することにより、試料表面の吸着原子の振動等を測定する高分解能電子エネルギ損失分光測定装置において、試料を保持する試料保持部をアースから切り離したり、試料保持部をアースに接続したりするスイッチ部を有することを特徴とする高分解能電子エネルギ損失分光測定装置。

IPC (3件)：

G01N 23/20 , H01J 37/28 , H01J 49/44

FI (3件)：

G01N 23/20 , H01J 37/28 A , H01J 49/44

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