特許
J-GLOBAL ID:200903032665370911

単結晶の製造方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 倉内 基弘 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-335447
公開番号(公開出願番号):特開平8-175896
出願日: 1994年12月22日
公開日(公表日): 1996年07月09日
要約:
【要約】【目的】 平行長の長い単結晶、特に酸化物単結晶を製造すること。【構成】 融液を収容するルツボと、該融液を加熱する加熱手段と、前記ルツボ内の融液に種子結晶を接触させ、その種子結晶を引き上げて単結晶を製造する方法において、ルツボの上方に設置した放射熱反射体を結晶引き上げに伴い上昇させることを特徴とする。
請求項(抜粋):
融液を収容するルツボと、該融液を加熱する加熱手段と、前記ルツボ内の融液に種子結晶を接触させ、その種子結晶を引き上げて単結晶を製造する方法において、ルツボの上方に設置した放射熱反射体を結晶引き上げに伴い上昇させることを特徴とする製造方法。
IPC (2件):
C30B 15/14 ,  C30B 29/30
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭63-147891
  • 特開昭63-147891
  • 特公昭56-027476

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