特許
J-GLOBAL ID：200903032668549564
真空環境用超音波モータ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀田 実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-257188
公開番号（公開出願番号）：特開2003-070268
出願日： 2001年08月28日
公開日（公表日）： 2003年03月07日
要約：
【要約】【課題】 超高真空の真空容器中に全体を設置して、精密な回転駆動ができ、真空度を阻害する不純物や電磁ノイズの発生及び磁場の漏洩のおそれがなく、自己発熱による影響を防止して長時間一定の性能を維持できる真空環境用超音波モータを提供する。【解決手段】 貫通孔を有するフランジ102と、フランジに外周部が気密に固定された可撓性鍔部9を中間部に有する中実棒状の振動ブロック4aと、振動ブロックの一端部に取り付けられ振動ブロックをその軸線に対して屈曲振動させる振動源2と、軸線を中心に回転可能に支持されかつ軸方向に移動可能な回転駆動体3と、回転駆動体を振動ブロックの他端面4cに向けて付勢する予圧機構10とを備え、これにより振動源で振動ブロック振動させて回転駆動体を回転させる。
請求項（抜粋）：
貫通孔を有するフランジ(102)と、該フランジに外周部が気密に固定された可撓性鍔部(9)を中間部に有する中実棒状の振動ブロック(4a)と、該振動ブロックの一端部に取り付けられ振動ブロックをその軸線に対して屈曲振動させる振動源(2)と、前記軸線を中心に回転可能に支持されかつ軸方向に移動可能な回転駆動体(3)と、該回転駆動体を振動ブロックの他端面(4c)に向けて付勢する予圧機構(10)とを備え、これにより振動源で振動ブロック振動させて回転駆動体を回転させる、ことを特徴とする真空環境用超音波モータ。
Fターム (23件)：
5H680BB03
, 5H680CC02
, 5H680DD01
, 5H680DD14
, 5H680DD15
, 5H680DD23
, 5H680DD27
, 5H680DD35
, 5H680DD39
, 5H680DD44
, 5H680DD65
, 5H680DD74
, 5H680DD84
, 5H680DD85
, 5H680EE07
, 5H680EE10
, 5H680EE20
, 5H680FF02
, 5H680FF04
, 5H680FF21
, 5H680FF33
, 5H680FF36
, 5H680GG02
