複合顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 峰隆司 , 福原淑弘 , 村松貞男 , 橋本良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-288376
公開番号（公開出願番号）：特開2006-106029
出願日： 2004年09月30日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：

【課題】簡単な構成で、対物レンズ及びSPMユニットの切り替えするときにSPMユニットに影響を及ぼすことがなくスムーズに切り替え動作をすること。【解決手段】各レボルバ穴「1」〜「5」とこれらレボルバ穴「1」〜「5」に取り付けられた各対物レンズ5-1、5-2、5-3、5-5及びSPMユニット5-4との各取り付け位置の情報に従ってSPMユニット5-4が筐体1に接触しない回転方向にレボルバ4を回転制御する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

対物レンズを通して試料の光学像を測定する光学顕微鏡と、走査型プローブ顕微鏡ユニットにより前記試料の物性情報を測定する走査型プローブ顕微鏡とを有し、前記対物レンズ及び前記走査型プローブ顕微鏡ユニットをレボルバに取り付け、前記レボルバの回転により前記対物レンズ又は前記走査型プローブ顕微鏡ユニットのいずれか一方を前記試料に対峙するように切り替え動作する複合顕微鏡において、前記光学顕微鏡と前記走査型プローブ顕微鏡ユニットとを切り替える際、予め設定された移動禁止経路を前記走査型プローブ顕微鏡ユニットが通過しないように前記レボルバの回転を制御する切替え制御部、を具備したことを特徴とする複合顕微鏡。

IPC (3件)：

G02B 21/00 , G01N 13/10 , G02B 21/18

FI (3件)：

G02B21/00 , G01N13/10 F , G02B21/18

Fターム (4件)：

2H052AA07 , 2H052AB25 , 2H052AD32 , 2H052AD33

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第2696106号公報

審査官引用 (9件)

特開平2-163601
電動レボルバ制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-068701 出願人：オリンパス光学工業株式会社
顕微鏡の回転レボルバ制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-204596 出願人：株式会社ニコン

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