タングステン膜の製造方法ならびに薄膜ヒーターとその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：石田敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-274863
公開番号（公開出願番号）：特開2000-355763
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】本発明は、低消費電力、小型化、及び微細化に適した薄膜ヒータとその製造方法を提供することである。【解決手段】基板上に薄膜状の導電性材料が形成されており、導電性材料に電流を供給することによって導電性材料自体が発熱する薄膜ヒータであって、導電性材料がβ相の格子状態を含むタングステンからなる薄膜ヒータ及びその製造方法によって達成される。

請求項（抜粋）：

基板上に膜を形成するために真空成膜室内を排気する排気工程と、基板上に膜が形成されないように基板を覆った状態で真空成膜室内にプラズマを発生させるプレスパッタ工程と、真空成膜室内で基板上に膜を形成する成膜工程とを有するスパッタリング法を用いて、基板上にタングステン膜を形成するタングステン膜の製造方法であって、前記排気工程で真空成膜室内を高真空状態にし、かつ、前記プレスパッタ工程による処理によって、β相の格子状態を含んだタングステンを形成することを特徴とするタングステン膜の製造方法。

IPC (3件)：

C23C 14/34 , C23C 14/14 , H05B 3/12

FI (3件)：

C23C 14/34 M , C23C 14/14 D , H05B 3/12 A

Fターム (26件)：

3K092QA05 , 3K092QB02 , 3K092QB30 , 3K092QB78 , 3K092QB80 , 3K092RF03 , 3K092RF17 , 3K092RF22 , 3K092TT31 , 3K092UB01 , 3K092VV04 , 3K092VV19 , 3K092VV40 , 4K029BA02 , 4K029BB03 , 4K029BB07 , 4K029BC05 , 4K029BD00 , 4K029CA05 , 4K029EA03 , 4K029EA09 , 4K029FA05 , 4K029FA09 , 4K029GA00 , 4K029GA01 , 4K029GA02

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