特許

J-GLOBAL ID：200903032691488084

ペースト塗布装置

発明者： ▲高▼橋 祐邦
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-185809
公開番号（公開出願番号）：特開2000-015163
出願日： 1998年07月01日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：

【要約】【課題】 ペースト塗布装置において、塗布・検査のタクト面およびスペース面を有利にし、検査精度を上げ、ペースト塗布性状を悪化させることなく塗布方向の転換をスムーズに行う。【解決手段】 基板50を載置するXYテーブル60を移動させながら塗布ノズル10から線状ペースト40を基板50に塗布するペースト塗布装置で、XYテーブル60の上方の塗布ノズル10の左右前後に撮像カメラ20A,20B,20C,20Dを配置し、各撮像カメラの光軸とXYテーブル60との交点に対して線状ペースト40と直交するスリット光を斜め方向から照射するスリット光源30A,30B,30C,30Dを配置し、撮像カメラが撮影した画像データに基づいてペースト塗布性状の良否を判定する。

請求項（抜粋）：

塗布対象へ線状ペーストを塗布しながら、塗布直後の線状ペーストにほぼ直交するスリット光を照射し、スリット光が線状ペーストを横切る状態のスリット光像をスリット光照射方向に対して傾斜する方向から撮影することによりペースト塗布性状の良否を判定するように構成してあるペースト塗布装置。

IPC (4件)：

B05C 5/00 101 ,  B23K 3/06 ,  H05K 3/34 505 ,  H05K 3/10

FI (4件)：

B05C 5/00 101 ,  B23K 3/06 E ,  H05K 3/34 505 B ,  H05K 3/10 D

Fターム (13件)：

4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA05 ,  4F041BA34 ,  4F041BA51 ,  4F041BA56 ,  5E319BB05 ,  5E319CD26 ,  5E319CD51 ,  5E319GG15 ,  5E343DD01 ,  5E343FF01 ,  5E343GG08