特許

J-GLOBAL ID：200903032693294520

薄膜太陽電池モジュールの製造方法

発明者： 佐藤 広喜
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-037465
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236794
出願日： 1995年02月27日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】薄膜太陽電池モジュールの光入射面を保護する無機系材料の透明絶縁性薄膜の厚さを薄くし、膜応力を小さくして信頼性を高め、表面反射を減らして特性を向上させる。【構成】基板および光電変換素子を貫通する穴を開けた場合、ステップカバレージの点から厚くしなければならない透明絶縁性薄膜を、その成膜前に貫通孔を接着性樹脂で埋めておくことにより薄くできるようにする。接着性樹脂は基板裏面上に接触させ、貫通孔を表面側でフィルムで塞いで加熱すると、樹脂はフィルムまで達して貫通孔が埋められる。フィルムはそのあと剥離できるものを用いる。

請求項（抜粋）：

表面上に互いに接続された複数の薄膜光電変換素子が形成された可撓性基板に光電変換素子を含めて通る貫通孔が開けられた薄膜太陽電池モジュールの製造方法において、前記貫通孔を樹脂で埋めたのち、光入射面を透明絶縁性薄膜で覆うことを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方法。

IPC (2件)：

H01L 31/04 ,  H01L 23/02

FI (4件)：

H01L 31/04 S ,  H01L 23/02 G ,  H01L 31/04 M ,  H01L 31/04 F