特許

J-GLOBAL ID：200903032697585456

レーザ装置

発明者： 若林 理 ,  天田 芳穂 ,  岩井 則夫
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-090368
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260748
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 光学素子を内包し、かつ清浄気体でパージされている筐体の取り外し又は取り付け作業時に清浄気体供給管路を損傷することなく、そして取り付け後確実に清浄気体を供給可能とするレーザ装置を提供する。【解決手段】 フロントミラー21と、フロントミラー21との間にレーザ共振器を構成する狭帯域化用光学素子と、この狭帯域化用光学素子を内包する筐体と、この筐体内に清浄気体を噴射するノズル32とを備えたレーザ装置において、レーザ共振器を構成する光軸上の位置に上記筐体が設置されたときに、清浄気体がノズル32から自動的に噴射され、また、レーザ共振器を構成する前記位置から上記筐体を移動したときに清浄気体の供給が自動的に停止される。また、レーザ光をモニタするモニタ光学系と、このモニタ光学系を内包する筐体と、この筐体内に清浄気体を噴射するノズル32とを備えたレーザ装置において、上記筐体がモニタ位置に設置されたときに清浄気体がノズル32から自動的に噴射され、また、前記モニタ位置から上記筐体を移動したときに清浄気体の供給が自動的に停止される。

請求項（抜粋）：

レーザ光を発振するレーザチャンバ1と、レーザチャンバ1のフロント側に配設されたフロントミラー(21)と、レーザチャンバ1のリア側に配設された狭帯域化用光学素子と、この狭帯域化用光学素子を内包する筐体と、この筐体内をパージするための清浄気体を噴射するノズル(32)とを備え、フロントミラー(21)、レーザチャンバ1及び狭帯域化用光学素子が光軸上に一直線に設置されたときレーザ光を発振させるレーザ装置において、上記筐体が光軸上に設置されたときに、上記清浄気体がノズル(32)から自動的に噴射されるようにしたことを特徴とするレーザ装置。

IPC (7件)：

H01S 3/036 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/08 ,  H01S 3/1055 ,  H01S 3/225 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

H01S 3/03 J ,  H01S 3/00 G ,  H01S 3/1055 ,  G03F 7/20 505 ,  H01S 3/08 Z ,  H01S 3/223 E ,  H01L 21/30 515 A