特許

J-GLOBAL ID：200903032702912347

半導体装置及びその製造方法

発明者： 青 山 知 憲
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (5件)： 吉武 賢次 ,  橘谷 英俊 ,  佐藤 泰和 ,  吉元 弘 ,  川崎 康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-077525
公開番号（公開出願番号）：特開2007-258267
出願日： 2006年03月20日
公開日（公表日）： 2007年10月04日
要約：

【課題】好適な特性を有するゲート絶縁膜及びゲート電極からなるP型FET及びN型FETを備える半導体装置を提供する。【解決手段】P型FET形成予定領域とN型FET形成予定領域とにわたって、基板上にゲート絶縁膜を形成し、ゲート絶縁膜上にP型FET用のゲート電極層を形成し、P型FET形成予定領域とN型FET形成予定領域とにおいて、P型FET用のゲート電極層を加工することにより、P型FET形成予定領域にP型FET用のゲート電極を形成すると共に、N型FET形成予定領域にダミーゲート電極を形成し、N型FET形成予定領域において、ゲート絶縁膜上からダミーゲート電極を除去することにより、溝を形成し、溝にゲート電極材料を埋め込むことにより、ゲート絶縁膜上にN型FET用のゲート電極を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板のP型FET形成予定領域とN型FET形成予定領域とにP型FETとN型FETとを形成する半導体装置の製造方法であって、 前記P型FET形成予定領域と前記N型FET形成予定領域とにわたって、 前記基板上に、P型FETとN型FETとに共通のゲート絶縁膜を形成し、 前記P型FET形成予定領域と前記N型FET形成予定領域とにわたって、 前記ゲート絶縁膜上に、P型FET用のゲート電極層を形成し、 前記P型FET形成予定領域と前記N型FET形成予定領域とにおいて、 前記P型FET用のゲート電極層を加工することによって、 前記P型FET形成予定領域にP型FET用のゲート電極を形成すると共に、 前記N型FET形成予定領域にダミーゲート電極を形成し、 前記P型FET形成予定領域と前記N型FET形成予定領域とにおいて、 前記P型FET用のゲート電極と前記ダミーゲート電極とを形成した前記基板に、 P型FET用のソースドレイン拡散層と、 N型FET用のソースドレイン拡散層とを形成し、 前記N型FET形成予定領域において、 前記ゲート絶縁膜上から前記ダミーゲート電極を除去することによって、 前記ゲート絶縁膜上に溝を形成し、 前記N型FET形成予定領域において、 前記ゲート絶縁膜上の前記溝にゲート電極材料を埋め込むことによって、 前記ゲート絶縁膜上にN型FET用のゲート電極を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。

IPC (6件)：

H01L 21/823 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/78 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 21/336

FI (4件)：

H01L27/08 321D ,  H01L29/78 301G ,  H01L29/58 G ,  H01L29/78 301P

Fターム (93件)：

4M104BB04 ,  4M104BB18 ,  4M104BB24 ,  4M104BB29 ,  4M104BB34 ,  4M104BB36 ,  4M104CC05 ,  4M104DD02 ,  4M104DD03 ,  4M104DD43 ,  4M104DD78 ,  4M104DD84 ,  4M104FF13 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  5F048AC03 ,  5F048BA02 ,  5F048BB08 ,  5F048BB09 ,  5F048BB10 ,  5F048BB11 ,  5F048BB12 ,  5F048BB13 ,  5F048BB14 ,  5F048BC06 ,  5F048BD04 ,  5F048BE03 ,  5F048BF06 ,  5F048BF16 ,  5F048BF17 ,  5F048BG13 ,  5F048DA25 ,  5F048DA27 ,  5F048DA30 ,  5F140AA05 ,  5F140AA06 ,  5F140AA24 ,  5F140AA40 ,  5F140AB03 ,  5F140AC01 ,  5F140BA01 ,  5F140BC06 ,  5F140BD01 ,  5F140BD02 ,  5F140BD04 ,  5F140BE02 ,  5F140BE07 ,  5F140BE08 ,  5F140BE10 ,  5F140BE16 ,  5F140BF01 ,  5F140BF03 ,  5F140BF05 ,  5F140BF06 ,  5F140BF07 ,  5F140BF08 ,  5F140BF09 ,  5F140BF10 ,  5F140BF11 ,  5F140BF15 ,  5F140BF17 ,  5F140BF20 ,  5F140BF21 ,  5F140BF28 ,  5F140BG01 ,  5F140BG03 ,  5F140BG10 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG28 ,  5F140BG36 ,  5F140BG37 ,  5F140BG39 ,  5F140BG40 ,  5F140BG52 ,  5F140BG53 ,  5F140BG54 ,  5F140BH14 ,  5F140BH31 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ08 ,  5F140BJ09 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK03 ,  5F140BK13 ,  5F140BK21 ,  5F140BK25 ,  5F140CB04 ,  5F140CB08 ,  5F140CC03 ,  5F140CC08 ,  5F140CE07 ,  5F140CF00