特許

J-GLOBAL ID：200903032710262947

容量式差圧センサ

発明者： フェリックス・ルドルフ ,  フィリップ・レナード
出願人/特許権者： セー エス ウー エム・サントル・スイス・デレクトロニク・エ・ドゥ・ミクロテクニク・エス アー・ルシェルシュ・エ・デヴェロプマン
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-160721
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027646
出願日： 1994年06月21日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：

【要約】【目的】 製造が容易かつ経済的で、圧力を測定する媒体に対して感応せず、同時に高い分解度と良好な感度を示す容量式差圧センサを提供する。【構成】 本発明の容量式差圧センサは、第1の圧力を受ける第1のチャンバを形成する手段と、第2の圧力を受ける第2のチャンバを形成する手段と、基準体積を構成し、第1と第2のチャンバからそれぞれの膜で遊離された第3のチャンバを形成する手段とを含み、更にそれぞれ一対の電極を有する2つのコンデンサを含み、各々の対の電極の1つを膜の1つと関連させて膜が受ける圧力の作用下でコンデンサの容量の変化をもたらし、電極は第3のチャンバの壁部分に並び、対の電極はセンサの構成のベースを形成する共通基板の面上に設ける。

請求項（抜粋）：

第1の圧力を受ける第1のチャンバを構成する手段と、第2の圧力を受ける第2のチャンバを構成する手段と、基準体積を構成し、前記第1と第2のチャンバからそれぞれの膜で遊離された第3のチャンバを構成する手段とを含み、更にそれぞれ一対の電極を有する2つのコンデンサを含み、各々の対の電極の1つを前記膜の1つと関連させて前記膜が受ける圧力の作用下でコンデンサの容量の変化をもたらす容量式差圧センサにおいて、前記電極が前記第3のチャンバの壁部分に沿って並び、前記対の電極の各々の他の電極はセンサの構成のベースを形成する共通基板の面上に設けたことを特徴とする容量式差圧センサ。

IPC (2件)：

G01L 13/06 ,  G01L 9/12

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特表昭61-500633
  
• 特表昭61-500633