特許
J-GLOBAL ID：200903032712538168
ウェーハ保持機構
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-340711
公開番号（公開出願番号）：特開平10-189700
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：
【要約】【課題】 クランプ、アンクランプ動作が確実で、設置スペースを必要とせず、各挟持爪の動作の同期が確実にとれ、クランプ圧力の調整が容易で、ダスト発生の割合の少ないグリップチャック方式のウェーハ保持機構の実現を課題とする。【解決手段】 ウェーハを保持するベース5と、ベース5の外周に周設されたウェーハの外縁を挟持する複数の挟持爪を有し、この挟持爪のうちの少なくとも1つ以上を可動爪としたウェーハ保持機構において、外周上に複数の頂点と複数の各頂点間に複数の凹部を有しベース5に対して回動可能な5角カム2と、この5角カム2の外周に可動爪を当接させ、ウェーハの挟持側に付勢する付勢手段と、可動爪の5角カム2外周への当接点が頂点と凹部の間を移動するように5角カムを一方向に回転し逆方向に復旧回転するスイングアーム7とプル・プッシュワイヤ1を設ける。
請求項（抜粋）：
ウェーハを保持する保持基板と、該保持基板の外周に周設されたウェーハの外縁を挟持する複数の挟持爪と、該複数の挟持爪のうちの少なくとも1つ以上を可動爪とし、該可動爪を駆動して前記ウェーハの挟持を行わせる駆動手段とを有するウェーハ保持機構において、前記駆動手段は、外周上に複数の頂点と該複数の各頂点間に複数の凹部を有し前記保持基板に対して回動可能な多頂点カム部材と、該多頂点カム部材の外周に前記可動爪を当接させ、前記ウェーハの挟持側に付勢する付勢手段と、前記可動爪の前記多頂点カム部材外周への当接点が前記頂点と前記凹部の間を移動するように前記多頂点カム部材を一方向に回転し逆方向に復旧回転する回転駆動手段を具備することを特徴とするウェーハ保持機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 S
, B25J 15/08 K
