特許

J-GLOBAL ID：200903032724890258

測定顕微鏡

発明者： 中村 泰三 ,  岡部 憲嗣
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-018329
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214387
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】 被測定物の像とテーブルの変位量などのパラメータとを同時に確認することができる測定顕微鏡を提供する。【解決手段】 被測定物50を載置するテーブル51と、このテーブル51に対向する対物レンズ52および接眼レンズ58を有する観察光学系と、この観察光学系とテーブル51とを相対移動させる相対移動手段63と、この相対移動手段63による相対移動変位量XYZθを検出する変位検出手段とを備えるとともに、観察光学系の光路中に挿入された液晶表示板1と、変位検出手段によって検出された相対移動変位量XYZθを液晶表示板1に表示させる表示制御手段とを備える。

請求項（抜粋）：

被測定物を載置するテーブルと、このテーブルに対向する対物レンズおよび接眼レンズを有する観察光学系と、この観察光学系と前記テーブルとを相対移動させる相対移動手段と、この相対移動手段による相対移動変位量を検出する変位検出手段とを備えた測定顕微鏡において、前記観察光学系の光路中に挿入された液晶表示板と、前記変位検出手段によって検出された相対移動変位量を前記液晶表示板に表示させる表示制御手段とを備えたことを特徴とする測定顕微鏡。

IPC (2件)：

G02B 21/00 ,  G02F 1/1335

FI (2件)：

G02B 21/00 ,  G02F 1/1335

Fターム (5件)：

2H052AF02 ,  2H052AF22 ,  2H091FC30 ,  2H091GA11 ,  2H091MA10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-116512
  
• 顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-277173   出願人：株式会社ニコン
• 特開平4-116512