特許

J-GLOBAL ID：200903032736101976

振動アクチュエータ駆動装置

発明者： 柴田 美子 ,  高木 忠雄
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-082473
公開番号（公開出願番号）：特開平9-275690
出願日： 1996年04月04日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】 用途や目的に応じた最も効率のよい振動アクチュエータの支持及び/又は加圧を可能にする。【解決手段】 弾性体と、前記弾性体の所定位置に設けられた電気機械変換素子とを備え、前記電気機械変換素子に入力される第1及び第2駆動信号に応答して、前記弾性体に第1及び第2モード又は第3及び第4モードの各々2種類の振動モードが縮退し、相対運動部材との間に2方向の相対運動を生じさせる2次元型の振動アクチュエータ100を用いており、第1駆動信号の入力によって発生する第1モードの節部Aと第2モードの節部Bの交点と、第2駆動信号の入力によって発生する第3モードの節部Cと第4モードの節部Dの交点との合致点において振動アクチュエータ100を支持する支持機構を設けた。

請求項（抜粋）：

弾性体と、前記弾性体の所定位置に設けられた電気機械変換素子とを備え、前記電気機械変換素子に入力される第1及び第2駆動信号に応答して、前記弾性体に第1及び第2モード又は第3及び第4モードの各々2種類の振動モードが縮退し、相対運動部材との間に2方向の相対運動を生じさせる2次元型の振動アクチュエータを用いた振動アクチュエータ駆動装置において、前記第1駆動信号の入力によって発生する前記第1モードの節部と、前記第2モードの節部の交点において前記振動アクチュエータを支持する支持機構を設けたことを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。