特許
J-GLOBAL ID：200903032737897804
電気特性調整装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
吉田 稔
, 田中 達也
, 仙波 司
, 古澤 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-164522
公開番号（公開出願番号）：特開2007-336148
出願日： 2006年06月14日
公開日（公表日）： 2007年12月27日
要約：
【課題】ダミーロードに任意のインピーダンスを設定するために、2つのバリコンのバリコンポジションを自動調整するインピーダンス自動調整装置を提供する。【解決手段】インピーダンス自動調整装置に、ダミーロードの2つのバリコンポジションを調整する調整手段と、インピーダンス計測装置で計測したインピーダンスから評価値を算出する評価値算出手段とを設け、当該インピーダンス自動調整装置が、一方の調整手段を固定した、評価値が最小となる他方の調整手段による調整と、他方の調整手段を固定した、評価値が最小となる一方の調整手段による調整とを、インピーダンス計測装置で計測したインピーダンスが所定の範囲に収まるまで自動的に交互に繰り返すようにした。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
電気的な特性値を変更可能な複数の回路素子と、これらの回路素子の特性値をそれぞれ変更するために各回路素子に対応して設けられた複数のアクチュエータと、これらのアクチュエータの駆動を制御する駆動制御手段とを備えた装置の電気的な特性値を予め設定された目標特性値に自動調整するための電気特性調整装置であって、
前記電気的な特性値を計測する計測装置によって、計測された装置の特性値を入手する特性値入手手段と、
前記複数の回路素子のうち、1の回路素子を可変素子としその他の回路素子を固定素子として、前記駆動制御手段により当該可変素子の特性値を所定の変化範囲で変化させる特性値変化手段と、
前記特性値変化手段により前記可変素子の特性値が変化する毎に、所定の演算式により前記特性値入手手段により入手された特性値と前記目標特性値との誤差を評価する誤差評価値を演算し、この誤差評価値が最小となる前記可変素子の特性値を求める回路素子調整手段と、
前記複数の回路素子の各回路素子を順番に可変素子に切り換え、各可変素子について前回可変素子とされた回路素子の特性値を前記回路素子調整手段で求められた特性値に固定して前記特性値変化手段による特性値の変更と前記回路素子調整手段による回路素子の調整を行う動作を、前記特性値入手手段により入手された特性値が前記目標特性値の許容範囲内となるまで繰り返す調整制御手段と、
を備えたことを特徴とする電気特性調整装置。
IPC (4件)：
H03H 7/38
, G01R 35/00
, H05H 1/46
, H01L 21/306
H03H7/38 Z
, G01R35/00 J
, H05H1/46 R
, H01L21/302 101G
5F004BB11
, 5F004BB13
, 5F004CA03
, 5F004CB05
