特許

J-GLOBAL ID：200903032747077848

X線発生装置

発明者： 杉崎 克己 ,  近藤 洋行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-020782
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223394
出願日： 1997年02月03日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 振動の影響を受けず、操作者が励起エネルギービームに被爆せず、励起エネルギービーム光源とX線光学機器との配置の自由度を増大し、励起エネルギービーム光源からの電磁ノイズの影響を低減する。【解決手段】 励起エネルギービームの光源部100 を第1防振系に固定し、真空容器を第1防振系と隔離した第2防振系に固定してなり、光源部から出射した励起エネルギービームを漏光することなく、又振動の影響を実質的に受けることなく、第1防振系から第2防振系に伝送可能な導光部材3 を設け、導光部材の入射端は光源部と一定の位置関係を保持するように第1防振系に固定し、の出射端は標的部材と一定の位置関係を保持するように第2防振系に固定する。

請求項（抜粋）：

減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成し、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置において、前記励起エネルギービームの光源部は第1防振系に固定され、前記標的部材を収納した真空容器は前記第1防振系と隔離された第2防振系に固定されてなり、前記光源部から出射された励起エネルギービームを漏光することなく、また振動の影響を実質的に受けることなく、前記第1防振系から前記第2防振系に伝送可能な導光部材が設けられ、前記導光部材の入射端は、前記光源部と一定の位置関係を保持するように前記第1防振系に固定され、また前記導光部材の出射端は、前記標的部材と一定の位置関係を保持するように前記第2防振系に固定されていることを特徴とするX線発生装置。