空間に空気を供給するための装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-535184
公開番号（公開出願番号）：特表2000-507686
出願日： 1997年03月20日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：

【要約】空間、好ましくは異なる雰囲気が要求される領域(A,B,C)に分けられたクリーンルームに空気を供給するための装置が、複数の領域に分配されそこから空気が種々の領域(A,B,C)へ供給される圧力室(5)に空気を供給するための第1空気処理ユニット(11)を備えている。装置は、圧力室(5)と第2空気処理ユニット(17)と連通する少なくとも1つの混合空間(14)を有する。混合空間は、第1空気処理ユニット(17)と第2空気処理ユニット(17)からの空気を混合するようになっている。混合空間は、領域のうちの少なくとも1つ(B)に混合空気を供給するために該領域(B)と連通している。

請求項（抜粋）：

空間、好ましくは異なる雰囲気が要求される領域(A,B,C)に分けられたクリーンルームに空気を供給するため、複数の領域に分配されそこから空気が種々の領域(A,B,C)及び混合空間へ供給される圧力室(5)に空気を供給する第1空気処理ユニット(11)を備えた装置において、圧力室(5)と第2空気処理ユニット(17)が圧力室(5)と第2空気処理ユニット(17)からの空気を混合するための少なくとも1つの混合空間(14)と連通するとともに、混合空間(14)が領域のうちの少なくとも1つ(B)に混合空気を供給するために該領域(B)と連通していることを特徴とする装置。

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