特許
J-GLOBAL ID：200903032755006577
金属酸化物薄膜の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-311576
公開番号（公開出願番号）：特開平6-157033
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1994年06月03日
要約：
【要約】【目的】 金属酸化物薄膜の形成方法において、塗布工程で金属アルコキシドを含有する溶液が安定であり、かつ欠陥のない均一な膜を形成する。【構成】 支持基板1の上に金属アルコキシドと溶剤からなる溶液を塗布する工程と、支持基板1を水蒸気を含有する雰囲気4aに曝す工程と、その後支持基板1を加熱処理して金属酸化物薄膜となす工程とを有する。
請求項（抜粋）：
支持基板上に金属アルコキシドと溶剤からなる溶液を塗布する工程と、前記支持基板を水蒸気を含有する雰囲気に曝す工程と、その後前記支持基板を加熱処理する工程とを有する金属酸化物薄膜の形成方法。
IPC (5件)：
C01G 1/00
, C01G 23/00
, C23C 18/12
, H01G 4/06 102
, H01G 4/10
