特許

J-GLOBAL ID：200903032765889442

感光性樹脂組成物、これを用いたパターン製造方法及び電子部品

発明者： 小島 康則 ,  渡辺 直己 ,  元部 丈晴 ,  板橋 俊明
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-119656
公開番号（公開出願番号）：特開2003-316002
出願日： 2002年04月22日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：

【要約】【課題】 感光特性に優れ、高感度で、低露光量でも良好な形状のパターンが得られ、現像後の残膜率も高く、また低温硬化可能で熱硬化後の塗膜収縮率が小さく、硬化膜特性にも優れる硬化膜が得られる感光性ポリイミド前駆体組成物及び製造工程の短縮が可能であり、製造コストが削減できるパターン製造方法を提供する。【解決手段】 ポリイミド前駆体、付加重合性化合物、光開始剤を含有し、上記(A)ポリイミド前駆体を形成するジアミン成分及び酸無水物成分が芳香環を有し、ジアミン成分に非直鎖の屈曲性構造を有し、上記(B)付加重合性化合物が350以下の分子量を有する感光性ポリイミド前駆体組成物であって、且つ、それを用いたパターン製造方法。

請求項（抜粋）：

一般式(I)【化1】(式中、Xは4価の芳香環を含む基、Yは2価の芳香環を含む基、R1及びR2は各々独立に水素原子又は1価の有機基を示し、X及びYの少なくとも一方が芳香環を1つ有する)で示される繰り返し単位を有するポリイミド前駆体、350以下の分子量を有する付加重合性化合物及び(C)光開始剤を含む耐熱性感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/027 502 ,  H01L 21/312

FI (3件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/027 502 ,  H01L 21/312 B

Fターム (24件)：

2H025AA01 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC69 ,  2H025CA01 ,  2H025CA20 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025FA03 ,  2H025FA15 ,  2H025FA29 ,  5F058AA08 ,  5F058AC02 ,  5F058AC07 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02 ,  5F058AH03