特許
J-GLOBAL ID：200903032774226367
走査電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-019866
公開番号（公開出願番号）：特開平6-231715
出願日： 1993年02月08日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【構成】試料上を電子線で2次元走査する電子光学系と、試料を2次元に移動する試料ステージと、電子線走査で得られる画像を記憶する画像メモリと、記憶した画像情報とあらかじめ登録した基準画像との間で形状検出をし、その位置を求めるコンピュータと、画像を表示するCRTを用い、観察試料が周期的構造を持つ場合には、あらかじめ定めたCRT上の位置に最も近い形状を自動選択し、視野移動する。【効果】本発明によれば、目的形状を唯一に確定することが難しかったメモリセルのような実デバイスに対しても、自動的な視野移動が可能となり、半導体製造ラインでのウェーハ測定自動化を推進できる。
請求項（抜粋）：
電子線で試料上を走査し、試料表面の2次元画像を得る手段と、得られた2次元画像上から定められた形状の存在する位置を検出する手段と、前記検出した形状の2次元画像上の位置を、別の定められた位置に視野移動する手段を有する走査電子顕微鏡において、定められた形状が、2次元画像上に複数個存在したら、あらかじめ定めた別の位置との距離が、最短となる定められた形状を、自動選択,移動することを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/22
, G01B 15/00
, H01J 37/28
