特許

J-GLOBAL ID：200903032777652561

真空ウェブ・コーテング方法及び装置

発明者： アイアン・ケンネス・バツクスター ,  チヤールス・アーサー・ビシヨツプ ,  デービツド・チヤールス・マツギー ,  ケイス・ワトキンス
出願人/特許権者： ジエネラル・バキユーム・エクイプメント・リミテツド ,  インペリアル・ケミカル・インダストリーズ・ピーエルシー
代理人 (1件)： 八木田 茂 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-274804
公開番号（公開出願番号）：特開平7-286272
出願日： 1994年11月09日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 コーテングの実施を厳密に制御してコーテングの均一性、材料回収効率、及び基板の熱負荷の制御性を改善し、紙またはプラスチツク膜上に金属などの材料で厚いコーテングを施す。【構成】 蒸発手段15は、互いに間隔を置いて配設された複数の出口ノズル29を有し、蒸気は、ノズル29を通して真空チャンバー12内の冷却された回転可能ドラム20の面上に配設された蒸着帯域30まで運ばれ、ウェブ基板21は、ウェブ搬送システム10,13,24,25によってドラム20を越えて前へ送られ、ノズル29は、好ましくは、基板21が前進する方向に順次配設された帯域30の部分へ蒸気を送るために基板21の通路に対して横向きに配設された複数の直線のスロツトを有し、ノズル出口はドラム20の湾曲面周囲に該湾曲面から間隔を置いて弧面上に配置される、真空ウェブ・コーテング装置。

請求項（抜粋）：

湾曲面に少なくとも一つの蒸着帯域(30)を有する少なくとも一つの回転冷却ドラム(20、31)を収容した真空チャンバー、コーテングを施すウェブ基板(21)を前記蒸着帯域(30)を通る通路に添って前記湾曲面上へ送るウェブ搬送システム(10、13、24、25)、及び前記ウェブ(21)上に蒸着させるコーテング材料(36)を蒸発させるための蒸発手段から成り、前記蒸発手段(15)が互いに間隔を置いて配設された複数の出口ノズル(29)を有し、該出口ノズルが、蒸気を前記蒸発手段(15)からウェブの通路に添って伸びる前記蒸着帯域の所定部分まで運び、さらに該所定部分で前進するウェブ(21)の面上に凝縮する構成とする真空ウェブ・コーテング装置において、前記ノズル(29)の出口端部を、ドラム(20、31)の湾曲面周囲に該湾曲面から間隔を置いて弧面上に配置したことを特徴とする真空ウェブ・コーテング装置。