露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-382887
公開番号（公開出願番号）：特開2003-186209
出願日： 2001年12月17日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】高精度のアライメントを実現できる露光装置を提供する。【解決手段】アライメント前に、基板4をθ度、-θ度回動させ、その時のマスクマーク30と基板マーク40との相対座標を求め、該相対座標からマスクマーク30の露光装置の座標軸90における座標を求め、該座標に基づいてアライメントを行う。

請求項（抜粋）：

所定のパターンを描いたフォトマスクと、該フォトマスクのパターンを焼き付けられる露光対象物とを、フォトマスクに設けられたマスクマークと露光対象物に設けられたアライメントマークとに基づいて位置合わせする露光装置において、前記フォトマスクと露光対象物とを相対的に所定角度回動させ、該第1の回動位置における前記フォトマークとマスクマークの位置の第1のずれを検出する手段と、次にフォトマスクと露光対象物とを反対方向に所定角度相対的に回動させ、該第2の回動位置における前記フォトマークとマスクマークの位置の第2のずれを検出する手段と、該検出された第1のずれと第2のずれに基づいて、前記マスクマークの露光装置に対する位置を演算する手段と、を備えたことを特徴とする露光装置。

Fターム (2件)：

2H097KA03 , 2H097LA09

引用特許：

審査官引用 (2件)

特公昭46-032694
特公昭46-032694

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