特許

J-GLOBAL ID：200903032784282834

走査像形成方法および走査像形成装置

発明者： 矢島 裕介 ,  品田 博之 ,  野副 真理 ,  村越 久弥 ,  梅村 馨 ,  長谷川 正樹 ,  ▲高▼藤 敦子 ,  黒田 勝廣
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-201162
公開番号（公開出願番号）：特開平11-045678
出願日： 1997年07月28日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：

【要約】【課題】チャージアップによるSEM像の不安定化を回避する。【解決手段】走査ビームを等間隔LでずらしながらN回走査することを繰り返し、同時に、上記試料を上記ビームの走査位置をずらす方向とは逆向きに速度L/(N×t)(ここでtは上記ビームの1回の走査と振り戻しに要する時間)で連続的に移動させて走査像を形成する。

請求項（抜粋）：

ビームを試料に走査状に照射し、これに伴い上記試料で生じる状態変化を上記ビーム照射位置と対応させながら検出することで上記状態変化を反映した信号の走査像を形成する走査像形成方法において、上記ビームを等間隔LでずらしながらN回走査することを繰り返し、同時に、上記試料を上記ビームの走査位置をずらす方向とは逆向きに速度L/(N×t)(ここでtは上記ビームの1回の走査と振り戻しに要する時間)で連続的に移動させて走査像を形成することを特徴とする走査像形成方法。

IPC (2件)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/147

FI (2件)：

H01J 37/22 502 B ,  H01J 37/147 B